微纳制造及先进传感技术、精密超精密加工技术及装备、精密测量技术及装备、生物检测技术及仪器等。

生于1955年，中国工程院院士，教授，机械工程、仪器科学与技术两个一级学科的博士生导师，英国伯明翰大学名誉教授、澳大利亚新南威尔士大学客座教授，上海交通大学兼职教授等。1977年毕业于机制专业，后获机械制造专业工学硕士学位和英国伯明翰大学机械工程专业博士学位（Ph.D）。曾任副校长（2004-2014）。

第十一届、十二届全国人大常务委员会委员、全国人大环境与资源保护委员会委员、陕西省科协主席；担任教育部科学技术委员会副主任兼战略研究指导委员会主任，国务院学位委员会学科评议组成员，中国机械工程学会副理事长，中国微米纳米技术学会副理事长、中国机械工业教育协会副理事长、陕西省机械工程学会理事长等；教育部“微纳制造与测试技术”国际联合实验室主任；曾任国家科学技术奖励委员会机械学科评审组组长；担任”nature”出版集团的唯一工程类杂志“Microsystems & Nanoengineering”编辑、、中国工程院院刊之一“Frontiers of Mechanical Engineering”副主编、国际期刊“International Journal of Nanomanufacturing”主编等。

先后承担了973、863、国家重大科技专项、国家重大仪器专项、国际合作重点项目、国家自然科学重点基金及其它省部委科研项目数十项。

长期从事微纳制造、先进传感技术与精密超精密加工技术与装备等方面的研究，在高端MEMS传感技术及系列器件、数字化精密测量与超精密加工技术与装备的工程科技领域做出了突出贡献，在微纳米技术相关基础理论和生物检测技术及仪器等方面开展了创新性研究。

获国家技术发明二等奖2项、国家科技进步二等奖1项，其他省部级奖励9项，并获全国首届创新争先奖、何梁何利科学与技术进步奖、全国优秀骨干教师、全国百篇优秀博士学位论文指导教师、学位与研究生教育工作突出贡献奖等。主编论著2本，发表论文400余篇；授权中国发明专利100余项、美国发明专利1项、获中国专利优秀奖1项、软件著作权15项。担任国际重要学术会议的大会主席20余次，国际会议Plenary和Keynote等特邀报告30余次。

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