PANalytical X’pert MRD型薄膜高分辨X射线衍射仪

最大功率：2.2kw (正常使用状况：40kV, 40mA)

功能简介：薄膜分析；高分辨X射线衍射；掠入射X射线衍射；织构分析

主要性能：theta, 2theta 轴最小步距0.0001,样品台具有（X,Y,Z,Phi,Chi）五个自由度：
Chi：-11°到98°  Δ0.01°;Phi：-180°to +180°   Δ0.01°;X轴：80mm； Δ0.01mm;Y轴：80mm; Δ0.01mm; Z轴：2mm   Δ0.01mm

主要功能：

高分辨X射线衍射分析

分析范围:外延薄膜的厚度，晶格参数、失配、应力，化学配比，缺陷、晶粒尺寸、侧向结构

掠入射X射线衍射测量

适合做薄膜的相结构，晶格参数、失配、应力，侧向结构和膜层的取向

织构测量:

主要用于测量基体和膜层取向