已建成5个实验平台：高功率脉冲实验平台，微波测试平台，等离子体诊断实验平台，器件加工实验平台，高性能计算平台。

（1）高功率脉冲实验平台

设计用于军事以及重要民用经济领域，如航空航天、生物医学、食品处理、等离子体消杀毒、医疗设备、半导体芯片测试、质量选择器、普克尔盒、HiPIMS磁控溅射等领域的通用或专用脉冲功率源。

平台仪器设备：高压电源（DW-N502-2ACD1）；高压脉冲衰减器（MS50-20）；混合域示波器（MD03104）；微流量前置放大器（TSC-04A）；电源分析仪（N6705a）；高压测试表（ET1940）；微电流测试仪（GT8235）；高压差分探头、功率钳表、多频LCR测试仪及信号源等。

（2）微波测试平台

用于高功率微波源、空间微波部件、Z箍缩装置磁绝缘传输线、等离子体器件等领域的器件研制及特性诊断。

平台仪器设备：固态功率源（2.45GHz，10kW）；微波测量系统 （NSAT-4000）；矢量网络分析仪（ZNB20，100 kHz - 20 GHz）；波导高方向性耦合器（HD-100WC30）；微波衰减器（32AS102）；频谱仪（SSA3021X PLUS）；C波段和X波段大功率微波测试组件；微波真空放电腔室等。

（3）等离子体诊断实验平台

建立了参数化脉冲激励系统及放电等离子体调控系统，用以研究解决放电等离子体的一系列共性关键科学问题和核心技术难题。平台仪器设备：

1） 等离子体激励源。高压微秒脉冲源（15 kHz，100 W-2kW）；参数化纳秒脉冲电源（电压：0-20 kV, 脉冲频率：0-10kHz，上升沿、脉宽和下降沿均可调）；直流稳压电源（LPS305/R）；示波器、高压探头和电流探头等；

2） 等离子体诊断设备。光谱光度计色度计射度（CA-2000A）；光谱仪（波长范围200-1100 nm，分辨率0.08 nm）；像增强型探测器（DH-334T-18U-E3）；紫外真空单色仪（VM-504）；真空紫外成像系统（PI-MAX-1KUV）；光电倍增管、ICCD（门宽<4ns）；质量流量计（CS200A）；真空系统及光学平台等。

（4）器件加工实验平台

平台仪器设备：磁控溅射仪（ACS-4000）；等离子化学气相淀积设备（PED-301）；快速退火炉（RTP-6）；电子束蒸发真空镀膜机；半导体参数分析仪；体视显微镜（XTD-01A）；四探针测试仪（RTS-8）；金相显微镜（CMM-70E）；超声波清洗机、电子分析天平、鼓风干燥箱、金相试样磨抛机等。

（5）高性能计算平台

搭建了气体放电等离子体、高功率微波、神经细胞太赫兹效应及第一性原理计算相关领域的理论和数值模型，具备数值模拟软件开发和高性能计算的软、硬件条件。平台仪器设备：

1）硬件平台。拥有支持多人协同开发和版本控制的服务器、共632核的Windows系统计算机集群、共352核的Linux系统计算机集群和10个GPU计算节点。

        2）软件平台。拥有商业软件CST Studio Suite、VSIM、Antenna Magus、自主开发的粒子模拟软件UNIPIC、流体模拟软件、微放电模拟软件MSAT、高精度电磁分析软件和二次电子发射的蒙特卡洛模拟程序，并对开源软件QUANTUMESPRESSO、分子动力学软件GROMACS等进行二次开发。