科研成果(Scientific Research Achievement) - 田 边
专利名称 | 申请号 | 专利类型 | 申请日期 |
---|---|---|---|
一种用于温度检测的抗变形柔性温度传感器及其制备方法 | ZL202011057683.6 | 发明 | 2020.05.01 |
用于检测激光光斑温度场分布的温度传感器及其制备方法 | ZL201910161572.0 | 发明 | 2019.03.03 |
一种三角梁结构湍流传感器 | ZL201611073308.4 | 发明 | 2016.07.01 |
一种具有复合多梁结构的加速度传感器芯片及其制作方法 | 201110133986.6 | 发明 | 2011.05.01 |
一种孔缝双桥式加速度传感器芯片及其制备方法 | 201110133962.0 | 发明 | 2011.05.01 |
梁膜结合微压传感器 | 200910024321.4 | 发明 | 2010.11.01 |
一种硅微加速度传感器芯片 | 200910219464.0 | 发明 | 2010.06.01 |