领域与项目

1. 光刻机深紫外光源研发

​​​​​​​   关键词：光刻机，深紫外激光，耦合腐蚀，微电子

  • 国家自然科学基金青年基金, 氟化物准分子激光器电极中非主量元素参与的腐蚀机制研究, 2018/01-2020/12, 25万元, 结题中, 主持

  • 企业研发课题，CaF2光学元件损伤研究，2019/01-2019/12，50万元，结题，主持

  • 企业研发课题，准分子激光放电腔用材料耐氟和光源关键光学元件性能对比研究，2020/02-2020/12，38万元，结题，主持

  • 中科院光电院项目, 准分子激光抛光SiC陶瓷作用机理与关键参量研究, 2017/01-2018/06, 20万元, 结题, 主持

  • 国家02重大专项, 40W 4kHz ArF 曝光光源产品开发, 2016/05-2021/12, 1.7亿元, 在研, 骨干成员

  • 国家02重大专项, 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 2016/01-2021/12, 3.5亿元, 在研, 骨干成员

  • 中科院微所基金, 准分子激光器关键技术研究, 2020/01-2021/12, 70万元, 在研, 分任务负责人

  • 中科院光电院项目, CFRP表面的准分子激光清洗技术研究, 2018/01-2020.12, 20万元, 结题, 骨干成员

  • 中科院光电院项目, 激光激发合金材料制备技术可行性研究, 2017/11-2018/12, 150万元, 结题, 分任务负责人

​​​​​​​2. 新型微器件设计开发、智能芯片制造
​​​​​​​    关键词：新型微器件，智能材料，光机电效应，激光诱导纳米晶/石墨烯

  • 青年拔尖人才支持计划，2021/01-2027/01,100万元，在研，主持

  • 中科院微所自主项目, 光子设计自动化平台研发, 2020/03-2023/03, 1000万元, 在研, 骨干成员

  • 军科委项目, XXX智能设计基础研究, 2019/12-2024/12, 3089万元, 在研, 骨干成员

3. 极端环境与极限表征

    关键词：极端环境，跨尺度表征​​​​​​​

  • 航天军工课题, XXX贮箱整体成形薄壁大尺寸半球壳体制造工艺, 2015.07-2016.04, 结题, 骨干成员