依托精密微纳制造技术全国重点实验室（原机械制造系统工程国家重点实验室，连续两届评优）、高端制造装备协同创新中心等国家级平台支撑仪器学科的发展。
已建成教育部微纳制造与测试技术国际合作联合实验室、微纳制造与纳米测试技术学科创新引智基地（111基地）等优质科研平台。
| 基地类型 | 基地名称 |
| 国家重点实验室 | 精密微纳制造技术全国重点实验室（共建） |
| 教育部国际合作联合实验室 | 微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 |
| 教育部、外国专家局引智基地 | “微纳制造与纳米测试技术”111引智基地 |
| 省级实验室、中心等 | 国家微检测系统工程技术研究中心实验室 |
| 陕西省微纳传感器工程技术研究中心 | |
| 陕西省生命科学检测仪器工程技术研究中心 | |
| 陕西省微型机械电子系统研究中心 | |
| 国际知名企业的联合实验室 | 西安交大-美国国家仪器有限公司(NI)联合实验室 |
| 西安交大—凌华科技虚拟仪器实验室 |