项目名称：电子束直写刻蚀系统
采购单位：机械工程学院
采购单位联系方式：王老师，83395052，sklms@xjtu.edu.cn
联系地址：西安市雁翔路99号交大曲江校区西五楼

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

偏转器电源是电子束直写刻蚀系统的重要部件，用于调节电子束流的偏转方向，现在损坏，导致设备无法使用，需要更换维修。

名称：偏转器电源，品牌Matsusada Precision，型号PLJ-360-0.2，电压：0-360V，电流：0-0.2A

数量：1台

金额：192000元

二、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：

电子束直写刻蚀系统的厂家是日本CRESTEC CORPORATION，设备属于高端精密光刻仪器，除原厂外，没有其他厂家能对其进行维修更换，因此申请单一来源采购。

三、拟定的唯一供应商名称：

CRESTEC CORPORATION

四、预算金额：

192000元人民币

五、开标方式：

  2024年7月16日 15:00  曲江校区西五楼A420会议室